제품소개

반도체 및 평판디스플레이(FPD) 제조 관련 장비, 계측기, 부품, Chemical 전문 공급 기업

Gas Item

고순도 가스계 밸브고압대유량밸브



자동밸브

NRD4C SERIES(Cv0.1 표준)

「NRD」SERIES자동밸브는 기존「RD」SERIES의 구조를 처음부터 수정하여 Slim하고 Compact한 디자인으로 높은 안전성능을 갖추고 있습니다.


특징

  • 원통세로형의 SLIM한 디자인으로 설치 LAYOUT의 자유도가 넓어졌습니다.
  • Surge압력에 강한 신개발의 고출력 Ball 쐐기형 Booster기구를 적용하였습니다.
  • 신개발 DOME형 Ni-Co합금 다이아프레임을 적용하였습니다.
  • 조작공기압 0.4~0.6MPa(G) 하한치에 있어서도 안전된 개퍠동작이 가능합니다.
  • 염소가스(Cl2)등 내약품성에 강한 PVDF시트를 새로 설정하였습니다. (NRD4C에 한함)





수동90°개폐밸브

NRD4Q SERIES(Cv0.1 표준)

「NRD」SERIES 수동90°개폐밸브는 나비형핸들을 적용하여 원할하며 확실한 조작성과 신 디자인의 개폐표시기능에 의한 高시인성등 안전대책을 목적으로 개발된 차세대의 고압밸브입니다.


특징

  • 손에 딱 들어맞는 나비형 핸들을 적용하여 조작성능을 향상하였습니다.
  • 나비형핸들과 OPENーCLOSE표시에 의한 시인성을 향상하였습니다.
  • 신개발 DOME형 Ni-Co합금 다이아프레임을 적용하였습니다.





자동밸브

NRHD8C Series(Cv1.0 HIGH FLOW TYPE)

신개발의 고출력 액츄에어터와 다이렉트 SEAL방식의 적용에따라 안전 ・고내구・파타클 프리를 실현하였습니다.

FPD디스플레이 공장이나 반도체공장등의 대유량 공급시스템에 최적입니다.


특징

  • 알루미늄재질의 부품을 다수 적용하여 경량화 하였습니다.
  • SURGE압에 강한 新설계로 지레식 Booster를 적용하였습니다.
  • Stroke조정기구에 따른 Booster기능이 안정화 하였습니다.
  • 신개발 DOME형 Ni-Co합금 다이아프레임의 적용에 따른 Cv1.0의 HIGH FLOW화를 실현하였습니다.
  • 다이렉트 SEAL방식의 적용에 따른 파티클의 발생을 절감하였습니다.
  • Static・Dynamic・Impact 각각 0.1μm이상의 발생수가 5EA/cf 이하(SEMASPEC 90120390B-STD)
  • 조작공기압0.5~0.7MPa(G) 하한치에 있어서도 안정된 개폐동작이 가능합니다.





수동밸브

NRHD8M Series(Cv1.0 HIGH FLOW TYPE)

신개발의 고효율 Booster기구와 Direct Seal방식의 적용에 따른 안전・高내구・Particle Free를 실현하였습니다.

FPD디스플레이 공장이나 반도체 공장등의 대유량 공급시스템에 최적입니다.


특징

  • 新개발 Booster기구의 적용에 따른 조작 Torque를 경감하였습니다. (약 4.5N・m)
  • 新개발 Stopper식 개폐표시기구의 적용에 따른 개폐표시판이 조작 시인성이 향상되었습니다.
  • 新개발 DOMEド형 Ni-Co합금 다이아프레임의 적용에 따른 Cv1.0의 HIGH FLOW화를 실현하였습니다.
  • 다이렉트 SEAL방식의 적용에 따른 파티클의 발생을 저감하였습니다.
  • Static・Dynamic・Impact 각각 0.1μm이상의 발생수가 5EA/cf이하(SEMASPEC 90120390B-STD)


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